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        N18系列小體積直線壓電馬達位移臺 - 低溫、無磁、真空兼容!

        更新時間: 2025-04-16

        在科技高速迭代的今天,各行業對精密運動控制的追求不斷攀升,從前沿的半導體制造領域,到關乎生命健康的生物醫療領域,從探索宇宙奧秘的航空航天領域,到日常的智能電子設備,高精度、高可靠性的直線運動驅動需求無處不在。直線壓電馬達位移臺以其大行程、高精度和快速的響應速度等性能優勢,成為推動眾多行業邁向新高度的核心力量。

        芯明天部分直線壓電馬達位移臺

        N18系列小體積直線壓電馬達位移臺- 低溫、無磁、真空兼容!

        N18系列壓電馬達位移臺為直線運動平臺,內置高性能壓電陶瓷,利用粘滑原理驅動,通過特殊結構設計,將壓電陶瓷的直線微位移,轉換為宏動直線毫米行程,實現高精度定位。位移方向可選X向和Z向兩種運動方式,行程可達5mm,分辨率可達6nm,速度可達3mm/s,可在低溫、真空、無磁的應用環境中使用。小體積設計,便于部署與集成,為設備小型化、集成化發展注入強勁動力。產品外觀如下圖所示。

        產品特點

        運動自由度:X或Z行程可達5mm低溫、真空、無磁粘滑原理驅動工作溫度范圍:-40~50℃斷電自鎖

        典型應用

        半導體—光刻機掩模臺定位、晶圓加工檢測、激光直寫等,精度決定良率!

        生物醫療—超分辨率顯微成像、細胞操作、納升配藥等,精準掌控生命科學!

        精密光學—光學干涉、光路調整、激光加工等,讓光學系統更穩定!

        航空航天—衛星激光通信、天文望遠鏡、穩像等,保障關鍵任務執行!

        技術參數

        型號

        N18.X5K

        N18.Z5K

        運動自由度

        X

        Z

        標稱行程范圍

        5mm或±2.5mm

        速度上限

        3mm/s

        分辨率

        6nm

        推/拉力

        3N

        保持力 ( 斷電自鎖)

        3N

        承載能力

        水平安裝

        250g

        150g

        加載后速度上限

        水平安裝

        3mm/s@250g

        2mm/s@150g

        工作溫度

        -40℃~50℃

        出線長

        1.5m

        材質

        重量

        19g

        40g

        配套控制器

        E53.C1K-J壓電控制器非常適用于驅動N18系列壓電馬達位移臺,它是單通道開環壓電控制器,采用數字控制,24VDC供電,靜態功耗小于5W,通信接口為TYPE-C、RS-422、RS-232操作便捷,尺寸僅105×103×30.1mm^3,外觀體積小巧,結構緊湊,易于集成。

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